【摘要】 本发明为无网带硅片烧结炉提供一种石英玻璃管硅片托架部件，包括石英玻璃管、金属套、托脚和限位螺钉，托脚固定在金属套上，在金属套上设有螺纹孔，金属套通过限位螺钉等间距地固定在石英玻璃管上，所述托脚由钢丝制成，在钢丝表面涂有陶瓷涂层。由于石英玻璃管具有强度高、耐高温、膨胀系数低、耐热震性、耐酸性、化学稳定性、电绝缘性能良好、吸热量少等优点，很适合作为硅片托架，托脚用钢丝制成，并在其外表面上设有陶瓷涂层，既满足了托脚应具备的强度、耐高温、耐磨损要求，降低硅片在烧结过程中由于金属接触而引起的金属离子污染。在金属套上开设开口和螺纹孔，便于金属套固定在石英玻璃管上。 【专利类型】发明申请 【申请人】常州亿晶光电科技有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】213200 江苏省金坛市尧塘镇金武路18号 【申请人地区】中国 【申请人城市】常州市 【申请人区县】金坛区 【申请号】CN201010523706.8 【申请日】2010-10-29 【申请年份】2010 【公开公告号】CN102032777A 【公开公告日】2011-04-27 【公开公告年份】2011 【授权公告号】CN102032777B 【授权公告日】2013-10-30 【授权公告年份】2013.0 【IPC分类号】F27B9/30; H01L31/18 【发明人】孙铁囤; 荀建华; 刘志刚; 高玉山; 潘盛; 姚伟忠; 陈琼 【主权项内容】一种石英玻璃管硅片托架部件，其特征是：包括石英玻璃管(411)、金属套(412)、托脚(413)和限位螺钉(414)，托脚(413)固定在金属套(412)上，在金属套(412)上设有螺纹孔(416)，金属套(412)通过限位螺钉(414)等间距地固定在石英玻璃管(411)上。 【当前权利人】常州亿晶光电科技有限公司 【当前专利权人地址】江苏省金坛市尧塘镇金武路18号 【专利权人类型】有限责任公司 【统一社会信用代码】91320413748721887W 【引证次数】5.0 【被引证次数】4 【自引次数】1.0 【他引次数】4.0 【被他引次数】4.0 【家族引证次数】5.0 【家族被引证次数】4

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