【摘要】 本实用新型涉及一种太阳能硅片的自动检测系统，包括将待检测硅片自动上载到检测平台上的自动上料装置、设置在检测平台上对待检测硅片进行检测的硅片检测装置，以及将检测完的硅片自动下载的自动下料装置，以及分别与自动上料装置、自动下料装置、硅片检测装置电连接的控制运算单元；本设备采用全自动化处理，不需要人工参与，因此检测结果不受人工因素或者环境因素的影响，具有一致性、稳定性和可靠性，节省了人工成本，提高了检测效率、能够完全满足硅片的检测需求。 【专利类型】实用新型 【申请人】常州视觉龙机电设备有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】213022 江苏省常州市新北区科技园2号楼创业中心A101 【申请人地区】中国 【申请人城市】常州市 【申请人区县】新北区 【申请号】CN201020518848.0 【申请日】2010-08-31 【申请年份】2010 【公开公告号】CN201844980U 【公开公告日】2011-05-25 【公开公告年份】2011 【授权公告号】CN201844980U 【授权公告日】2011-05-25 【授权公告年份】2011.0 【IPC分类号】G01N21/88; G01B11/00; G01B11/24; G01R27/02 【发明人】丁少华 【主权项内容】太阳能硅片的自动检测系统，其特征在于：该系统包括将待检测硅片自动上载到检测平台上的自动上料装置、设置在检测平台上对待检测硅片进行检测的硅片检测装置，以及将检测完的硅片自动下载的自动下料装置，以及分别与自动上料装置、自动下料装置、硅片检测装置电连接的控制运算单元；所述硅片检测装置包括对硅片隐裂状况进行检测的隐裂检测装置、对硅片的上下表面进行检测的外观检测装置、采用二维、三维影像摄取装置对硅片几何尺寸及硅片翘曲进行检测的硅片几何尺寸及翘曲检测装置、以及对硅片电阻率进行检测的电阻率检测装置；所述隐裂检测装置、外观检测装置、硅片几何尺寸及翘曲检测装置以及电阻率检测装置分别与控制运算单元电连接。 【当前权利人】常州视觉龙机电设备有限公司 【当前专利权人地址】江苏省常州市新北区科技园2号楼创业中心A101 【被引证次数】35 【被他引次数】35.0 【家族被引证次数】35

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