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太阳能电池链式湿法刻蚀设备的刻蚀槽盖板专利

时间:2026-06-04    作者:admin 点击: ( 0 ) 次

【摘要】 本实用新型涉及太阳能电池链式湿法刻蚀设备技术领域,特别是一种太阳能电池链式湿法刻蚀设备的刻蚀槽盖板。刻蚀槽盖板为弧形,盖板中部高,四周低,通过改变刻蚀槽盖板的形状,使得酸气聚集成液滴后可沿盖板流至机台边缘而回到刻蚀槽中,目前由液滴造成的不良片比例大约为0.1%左右。本设计可减少刻蚀槽液滴滴落到硅片扩散面上的几率,从而降低由液滴滴落造成的不良片的比例。 【专利类型】实用新型 【申请人】常州天合光能有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】213031 江苏省常州市新北区电子产业园天合路2号 【申请人地区】中国 【申请人城市】常州市 【申请人区县】新北区 【申请号】CN201020548421.5 【申请日】2010-09-29 【申请年份】2010 【公开公告号】CN201809440U 【公开公告日】2011-04-27 【公开公告年份】2011 【授权公告号】CN201809440U 【授权公告日】2011-04-27 【授权公告年份】2011.0 【IPC分类号】C23F1/08; H01L31/18 【发明人】孟利萍 【主权项内容】一种太阳能电池链式湿法刻蚀设备的刻蚀槽盖板,其特征是:所述的刻蚀槽盖板(1)为弧形,盖板中部高,四周低。 【当前权利人】常州天合光能有限公司 【当前专利权人地址】江苏省常州市新北区电子产业园天合路2号 【专利权人类型】有限责任公司 【统一社会信用代码】91320411608131455L

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