【摘要】1.本外观设计产品为人造毛皮(1028)，主要用于制作床上用品。2.本外观设计产品为平面产品，其它视图无设计要点，省略其它视图；其设计要点在于产品的图案。3.本外观设计产品请求保护色彩。4.本外观设计产品为四方连续无限定边界。5.本
【摘要】 本实用新型公开了一种半导体太阳能镀膜工艺腔室，包括腔壁、气体注射器、负载架以及承受器，所述的气体注射器设置在腔壁的上端，所述的承受器设置在气体注射器的下端，其特征在于：所述的负载架设置在所述的承受器上，在所述的腔壁上设置有气体缓冲层。与现有技术相比，本实用新型半导体太阳能镀膜工艺腔室，负载架不是设置在腔壁上，而是设置在承受器上，用来支撑玻璃，在腔壁上再设独立的气体缓冲层单独来阻止工艺气体。采用本实用新型的工艺腔室，玻璃的负载架设置在承受器上，在对玻璃进行支撑后，玻璃的边缘不会快速的降温，经承受器加热后，玻璃温度均匀，镀膜效果好，色差小。 【专利类型】实用新型 【申请人】江苏综艺光伏有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】226300 江苏省通州市兴东镇综艺数码城 【申请人地区】中国 【申请人城市】南通市 【申请人区县】通州区 【申请号】CN201020179750.7 【申请日】2010-05-05 【申请年份】2010 【公开公告号】CN201868459U 【公开公告日】2011-06-15 【公开公告年份】2011 【授权公告号】CN201868459U 【授权公告日】2011-06-15 【授权公告年份】2011.0 【IPC分类号】H01L31/18; C23C14/50; C23C16/458 【发明人】张浩; 昝圣达; 朱峰林 【主权项内容】一种半导体太阳能镀膜工艺腔室，包括腔壁、气体注射器、负载架以及承受器，所述的气体注射器设置在腔壁的上端，所述的承受器设置在气体注射器的下端，其特征在于：所述的负载架设置在所述的承受器上，在所述的腔壁上设置有气体缓冲层。 【当前权利人】江苏综艺光伏有限公司 【当前专利权人地址】江苏省通州市兴东镇综艺数码城 【专利权人类型】有限责任公司(外商投资、非独资) 【统一社会信用代码】91320612678347139D
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