【摘要】 真空阴极弧直管过滤器，它涉及的是金属等离子体引入材料表面的装置。它是为了解决现有技术不能滤除等离子体中金属颗粒的问题。它的金属过滤墙(5)左侧的端面(5-1)上设有圆形凸台(5-2)，金属过滤墙(5)的通孔(5-4)的轴心线、圆形凸台(5-2)的轴心线与左侧的端面(5-1)的轴心线相重合；真空阴极弧源头(1)的绝缘部分(1-1)镶嵌在金属壳体(2)左侧端盖上的孔(2-1)中，第一过滤线圈(3)、第二过滤线圈(4)并列套接在金属壳体(2)的外壁上，金属过滤墙(5)左侧的端面(5-1)连接在金属壳体(2)的右侧端口(2-2)上，金属过滤墙(5)右侧的端面(5-3)连接在真空室壁(6)的入口端(6-1)上。本发明能高效滤除等离子体中的金属颗粒，所获等离子体的纯净度高，并具有结构简单、易维护、制造成本低等优点。 【专利类型】发明申请 【申请人】哈尔滨工业大学 【申请人类型】学校 【申请人地址】150001黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号 【申请人地区】中国 【申请人城市】哈尔滨市 【申请人区县】南岗区 【申请号】CN200410044010.1 【申请日】2004-11-05 【申请年份】2004 【公开公告号】CN100447934C 【公开公告日】2008-12-31 【公开公告年份】2008 【授权公告号】CN100447934C 【授权公告日】2008-12-31 【授权公告年份】2008.0 【IPC分类号】H01J37/02; H01J37/317; H05H1/34; C23C16/513 【发明人】田修波; 杨士勤 【主权项内容】1.真空阴极弧直管过滤器，它包含真空阴极弧源头(1)、真空室壁(6)，其特 征在于它还包含金属壳体(2)、第一过滤线圈(3)、第二过滤线圈(4)、金属过滤墙(5)； 金属过滤墙(5)是开有通孔(5-4)的圆形金属体，金属过滤墙(5)左侧的端面(5-1)上设 有圆形凸台(5-2)，金属过滤墙(5)的通孔(5-4)的轴心线、圆形凸台(5-2)的轴心线与 左侧的端面(5-1)的轴心线相重合；真空阴极弧源头(1)的绝缘部分(1-1)镶嵌在金属 壳体(2)左侧端盖上的孔(2-1)中，第一过滤线圈(3)、第二过滤线圈(4)并列套接在金 属壳体(2)的外壁上，金属过滤墙(5)左侧的端面(5-1)连接在金属壳体(2)的右侧端口 (2-2)上，金属过滤墙(5)右侧的端面(5-3)连接在真空室壁(6)的入口端(6-1)上，真空 阴极弧源头(1)发射等离子体的轴心线、第一过滤线圈(3)的磁感应轴线、第二过滤 线圈(4)的磁感应轴线与金属过滤墙(5)中的通孔(54)的轴心线相重合；金属壳体(2) 是非导磁金属体。 【当前权利人】日照大象房屋建设有限公司 【当前专利权人地址】山东省日照市东港区烟台路168号大象国际B座5楼 【统一社会信用代码】12100000400000456B 【引证次数】7.0 【他引次数】7.0 【家族引证次数】7.0 【家族被引证次数】113.0

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