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一类用于测量锑化物材料载流子浓度剖面的电解液专利

时间:2026-05-31    作者:admin 点击: ( 0 ) 次

【摘要】 本发明提供一类适用于电化学电容-电压(ECV)方法测量锑化物半导体材料载流子浓度剖面分布电解液,目的在于提高电化学电容-电压方法测量锑化物材料载流子浓度的准确性。其基本特征在于:基础溶液为酒石酸钾钠的水溶液;在测量不同导电类型(p型或n型)的锑化物半导体材料时,分别添加酸性溶液或者碱性溶液以形成可靠的电解液—半导体肖特基结,从而达到准确测量的目的。添加的酸性溶液可以是盐酸、酒石酸或冰醋酸等非氧化性酸或它们的混合物,添加的碱性溶液可为氢氧化钠或氢氧化钾与乙二胺四乙酸(EDTA)的混合溶液。在电化学C-V方法测量中采用此电解液测量锑化物材料的剖面载流子浓度,能获得与霍尔等方法测量结果相符的结果,并且具有无毒性、易保存等优点。 【专利类型】发明申请 【申请人】中国科学院上海微系统与信息技术研究所 【申请人类型】科研单位 【申请人地址】200050上海市长宁区长宁路865号 【申请人地区】中国 【申请人城市】上海市 【申请人区县】长宁区 【申请号】CN200410093246.4 【申请日】2004-12-17 【申请年份】2004 【公开公告号】CN100373155C 【公开公告日】2008-03-05 【公开公告年份】2008 【授权公告号】CN100373155C 【授权公告日】2008-03-05 【授权公告年份】2008.0 【IPC分类号】G01N27/28; G01N27/44; C25F3/12 【发明人】洪婷; 张永刚; 朱福英 【主权项内容】1.一类用于电化学电容-电压方法测量锑化物材料剖面载流子浓度分布的 电解液,以酒石酸钾钠为溶质,其特征是以水为溶剂,通过添加酸性或碱 性溶液的方法调节溶液的pH值在3~12范围内,以分别测量n型或p型 锑化物半导体材料的载流子浓度。 【当前权利人】中国科学院上海微系统与信息技术研究所 【当前专利权人地址】上海市长宁区长宁路865号 【统一社会信用代码】12100000425006790C 【引证次数】1.0 【他引次数】1.0 【家族引证次数】1.0 【家族被引证次数】1.0

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