【摘要】本实用新型公开了一种微结构微细加工中, 蚀刻 深度传感器。该传感器由激光器、敏感元件、带成像透镜的 CCD器件组成, 可对微细加工中蚀刻深度进行实时检测, 测量相 对误差大于1%, 满足微结构加工的要求。其结构简单, 制造容易, 成
【专利类型】外观设计 【申请人】黄庆炼 【申请人类型】个人 【申请人地址】台湾省台中市西屯区宁夏东五街14号2楼 【申请人地区】中国 【申请人城市】台湾省 【申请号】CN98301816.2 【申请日】1998-04-14 【申请年份】1998 【公开公告号】CN3098100D 【公开公告日】1999-01-06 【公开公告年份】1999 【授权公告号】CN3098100D 【授权公告日】1999-01-06 【授权公告年份】1999.0 【发明人】黄庆炼; 郭正次 【主权项内容】无 【当前权利人】黄庆炼 【当前专利权人地址】台湾省台中市西屯区宁夏东五街14号2楼
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