【摘要】 本发明属于机械几何尺寸测量技术领域, 包括用 激光三角法位移传感器和大量程电涡流传感器组成复合传感 器, 二者固定在同一基体上, 无相对运动; 用激光三角法位移传感 器, 测量非金属涂层表面与复合传感器测头之间距离的变化量 用电涡流传感器测量金属基体表面与复合传感器测头之间的 距离变化量; 二者求差, 即是非金属涂层的厚度。本发明简单、 易行, 可实现生产线上金属基体表面非金属涂层厚度实时、连续 地测量。 【专利类型】发明申请 【申请人】清华大学 【申请人类型】学校 【申请人地址】100084北京市海淀区清华园 【申请人地区】中国 【申请人城市】北京市 【申请人区县】海淀区 【申请号】CN98117742.5 【申请日】1998-09-04 【申请年份】1998 【公开公告号】CN1207493A 【公开公告日】1999-02-10 【公开公告年份】1999 【授权公告号】CN1094191C 【授权公告日】2002-11-13 【授权公告年份】2002.0 【IPC分类号】G01B7/06; G01B11/06; G01B7/02; G01B21/08 【发明人】李岩; 张玲香; 张书练; 韩艳梅 【主权项内容】1、一种金属基体表面非金属涂层厚度非接触测量方法，其特征在于， 包括以下步骤： 1)用激光三角法位移传感器和大量程电涡流传感器组成复合传感器， 所说的激光三角法位移传感器和大量程电涡流传感器二者之间的相对位置 的确定用标准块标定后，固定在同一基体上，无相对运动； 2)用所说的激光三角法位移传感器，非接触地测量非金属涂层表面与 所说的复合传感器测头之间距离的变化量； 3)用所说的电涡流传感器测量金属基体表面与复合传感器测头之间的 距离变化量； 4)将所说的激光三角法测出的非金属涂层表面离所说的测头的距离与 电涡流传感器测出的金属基体表面与该测头之间的距离求差，即是非金属 涂层的厚度。 【当前权利人】清华大学 【当前专利权人地址】北京市海淀区清华园 【专利权人类型】公立 【统一社会信用代码】12100000400000624D 【被引证次数】33.0 【被自引次数】1.0 【被他引次数】32.0 【家族被引证次数】34.0

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