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带有附加极板的可变形弹性薄膜电容器件专利

时间:2026-05-27    作者:admin 点击: ( 0 ) 次

【摘要】 本发明涉及一种带有附加电容极板的可变形薄 膜电容器件, 属微机电器件领域。该器件的两个电容极板中至少 有一个是由附着在可变形弹性薄膜上的附加极板。附加极板的 面积可大于薄膜面积且不随薄膜的形变而形变。按照本发明可 制成多种体积小, 灵敏度高的电容式微机电器件, 如压力传感 器、话筒、声发射、声测量、谐振器件等。 【专利类型】发明申请 【申请人】胡耿 【申请人类型】个人 【申请人地址】100084北京市清华大学微电子所 【申请人地区】中国 【申请人城市】北京市 【申请人区县】海淀区 【申请号】CN98100185.8 【申请日】1998-02-04 【申请年份】1998 【公开公告号】CN1225494A 【公开公告日】1999-08-11 【公开公告年份】1999 【授权公告号】CN1139087C 【授权公告日】2004-02-18 【授权公告年份】2004.0 【IPC分类号】H01G5/00 【发明人】胡耿 【主权项内容】1、一种可变形弹性薄膜电容式微机电器件,包括基片及间隔绝 缘层,其中至少有一个基片具有周边固支的可变形弹性薄膜,其特征 在于它至少还包括有一个附加电容极板,附加电容极板的中心支点固 定在弹性薄膜中心处,其面积可大于硅薄膜面积。 【当前权利人】胡耿 【当前专利权人地址】北京昌平沙河镇展思门路4号北京半导体研究所飞骊佳公司 【引证次数】1.0 【被引证次数】9.0 【他引次数】1.0 【被自引次数】3.0 【被他引次数】6.0 【家族引证次数】1.0 【家族被引证次数】9.0

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