【摘要】本发明是集光学方法测量及机械接触方法测量 的可靠性和单一性于一体的光学接触式测量方法和利用该方 法的微型三维测头, 用于微米尺度微小型工件的测量。该测头的 优点是测力小(小于50μN), 且“测杆”的弹性、塑性变性和迟 滞效应不会引
【专利类型】外观设计 【申请人】陆启民 【申请人类型】个人 【申请人地址】300040天津市和平区台儿庄路6号天津文化站 【申请人地区】中国 【申请人城市】天津市 【申请人区县】和平区 【申请号】CN98306476.8 【申请日】1998-02-21 【申请年份】1998 【公开公告号】CN3098671D 【公开公告日】1999-01-13 【公开公告年份】1999 【授权公告号】CN3098671D 【授权公告日】1999-01-13 【授权公告年份】1999.0 【发明人】陆启民 【主权项内容】无 【当前权利人】陆启民 【当前专利权人地址】天津市和平区台儿庄路6号天津文化站
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