【专利类型】外观设计【申请人】葛文举【申请人类型】个人【申请人地址】300240天津市津芦公路欢坨工业区顺源食品厂【申请人地区】中国【申请人城市】天津市【申请人区县】东丽区【申请号】CN98302934.2【申请日】1998-06-09【申
【摘要】 本发明属于光纤通信中微光学信息处理技术领 域, 包括结合成一体的芯片、引线框架、金引线及塑料封装外壳 芯片由硅片, 插入硅片中的入射、出射光纤及制作在硅片上反射 入/出射光的由聚酰亚胺多晶硅复合微梁和微镜支持框架支撑 的一个以上微镜, 以及结合于该微镜上、下表面的二电极所组 成。本发明具有结构简单, 制造方便, 驱动角度小, 能耗低, 快速性 好, 惯量小, 无阻尼自振频率高, 使用方便等诸多优点, 易于推广 应用。。： 【专利类型】发明申请 【申请人】清华大学 【申请人类型】学校 【申请人地址】100084北京市海淀区清华园 【申请人地区】中国 【申请人城市】北京市 【申请人区县】海淀区 【申请号】CN98111716.3 【申请日】1998-12-25 【申请年份】1998 【公开公告号】CN1223381A 【公开公告日】1999-07-21 【公开公告年份】1999 【授权公告号】CN1081339C 【授权公告日】2002-03-20 【授权公告年份】2002.0 【IPC分类号】G02B6/00 【发明人】叶雄英; 卜敏强; 周兆英 【主权项内容】1、一种微光学开关，包括结合成一体的芯片、引线框架、金引线及塑料封装 外壳，其特征在于，所说的芯片由硅片，插入硅片中的入射、出射光纤及 制作在硅片上反射入/出射光的由聚酰亚胺多晶硅复合微梁和微镜支持框 架支撑的一个以上微镜，以及结合于该微镜上、下表面的二电极所组成。 【当前权利人】清华大学 【当前专利权人地址】北京市海淀区清华园 【专利权人类型】公立 【统一社会信用代码】12100000400000624D 【被引证次数】2.0 【被他引次数】2.0 【家族被引证次数】2.0
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