【摘要】 本发明是集光学方法测量及机械接触方法测量 的可靠性和单一性于一体的光学接触式测量方法和利用该方 法的微型三维测头, 用于微米尺度微小型工件的测量。该测头的 优点是测力小(小于50μN), 且“测杆”的弹性、塑性变性和迟 滞效应不会引触测不确定误差。该发明的特征是通过光学成像 系统和CCD摄像机确定被照明微型触测球体的球心坐标, 光纤 测杆三维触测适应性的优化几何结构, 触测球体在光轴方法上 离焦距离的测量方法。 ： 【专利类型】发明申请 【申请人】天津大学 【申请人类型】学校 【申请人地址】300072天津市南开区卫津路92号 【申请人地区】中国 【申请人城市】天津市 【申请人区县】南开区 【申请号】CN98115367.4 【申请日】1998-06-30 【申请年份】1998 【公开公告号】CN1204046A 【公开公告日】1999-01-06 【公开公告年份】1999 【IPC分类号】G01B11/00; G01B11/03 【发明人】吉贵军 【主权项内容】1．一种光学接触式测量方法，其特征是：结合光学非接触法和机械接触法于一体利用光 学成像透镜(1)和CCD摄像机(2)确定触测球体(4)的球心坐标，传光光纤(3)做为“测 杆)置于(1)的光轴上，在(3)的端部是微型触测球体(4)，(4)被调整到(1)焦平面内，并通 过光纤另一端的冷源(5)照明，由(4)漫反射回来的光经(1)在像平面的(2)上形成亮光斑， 同时(4)的像经分光镜(7)和离焦器件(8)成在离焦检测元件(9)上，则(4)触测工件(6)时 触测球体球心在焦平面内的坐标可由在(2)上亮光斑的中心位置给出。 【当前权利人】天津大学 【当前专利权人地址】天津市津南区海河教育园区雅观路135号天津大学北洋园校区 【统一社会信用代码】12100000401359321Q 【引证次数】1.0 【被引证次数】20.0 【他引次数】1.0 【被自引次数】2.0 【被他引次数】18.0 【家族引证次数】1.0 【家族被引证次数】20.0

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