【摘要】 本实用新型公开了一种控温的半导体光电特性 测试样品架, 它由样品腔、控温基座和温度传感器组成。样品腔 包含腔盖和腔体, 腔盖上设有用以穿插光纤或透过光束的穿孔, 腔体上设有多个接线柱。控温基座固定在样品腔中并以一块高 热导率的热沉为基体, 温度传感器插设在热沉一侧通向中心的 孔道内, 热沉上表面有一对装有弹性测试电极的接线柱, 其下表 面则贴附着带加热器的绝缘导热薄片。此测试样品架使用方 便、节约器材并能满足控温要求。 【专利类型】实用新型 【申请人】中国科学院半导体研究所 【申请人类型】科研单位 【申请人地址】100083北京市912信箱 【申请人地区】中国 【申请人城市】北京市 【申请人区县】海淀区 【申请号】CN98201675.1 【申请日】1998-03-05 【申请年份】1998 【公开公告号】CN2331083Y 【公开公告日】1999-07-28 【公开公告年份】1999 【授权公告号】CN2331083Y 【授权公告日】1999-07-28 【授权公告年份】1999.0 【IPC分类号】H01L21/66; G01R31/00 【发明人】张砚华; 卢励吾 【主权项内容】1．一种控温的半导体光电特性测试样品架，其特征在于，它包括： 一个样品腔，所述样品腔包含一个腔体和腔盖，所述腔体设有分别与 控温基座的加热电阻、测试电极、温度传器以及外界电源和仪表连接的接 线柱，在所述腔盖上则设有用于穿插光纤或透过光束的穿孔； 一个控温基座，所述控温基座有一块固定在所述腔体中具有高热导率 的扁平状热沉的基体，在所述热沉中设有由一侧通向中心的孔道用于插设 温度传感器，在所述热沉的上表面装设一对与所述热沉绝缘的测试电极接 线柱以及分别与所述一对测试电极接线柱连接的一对弹性测试电极并在所 述一对测试电极接线柱之间的所述热沉表面上粘附一片绝缘和导热的薄层 样品垫片，在所述热沉的下表面则贴附一片用绝缘和导热薄片作基片并有 两个电源引接端的加热器，所述两个电源引接端有一对电源线分别与所述 腔体的所述相应接线柱连接； 一个温度传感器，插接在所述热沉的孔道中，所述温度传感器的输出 端与所述腔体的所述相应接线柱连接。 【当前权利人】中国科学院半导体研究所 【当前专利权人地址】北京市912信箱 【统一社会信用代码】12100000400012385U 【被引证次数】3.0 【被自引次数】1.0 【被他引次数】2.0 【家族被引证次数】3.0

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