【摘要】 本实用新型是在高精度仪器设备用于调平工 件。其调平原理是 : 由电机带动偏心轮转动, 基座中的弹簧使顶 钉与偏心轮相靠, 带动定位钉和定标板沿轴承套上下移动, 定标 板为气浮止推轴承, 端面均布若干个节流微孔; 承件台与半球相 连, 当在半球和半球座之间通以压力空气时, 承件台可绕半球座 球心转动, 由上升气缸带动承件台上下移动。当工件与定标板接 近时, 形成气膜而间接相靠将工件调平。具有调平精度高、速度 快和不损伤工件表面的特点。 【专利类型】实用新型 【申请人】中国科学院光电技术研究所 【申请人类型】科研单位 【申请人地址】610209四川省成都市双流350信箱 【申请人地区】中国 【申请人城市】成都市 【申请人区县】双流区 【申请号】CN98229568.5 【申请日】1998-09-24 【申请年份】1998 【公开公告号】CN2338859Y 【公开公告日】1999-09-15 【公开公告年份】1999 【授权公告号】CN2338859Y 【授权公告日】1999-09-15 【授权公告年份】1999.0 【IPC分类号】G12B5/00; G01D11/16; G01D11/00 【发明人】胡松; 姚汉民; 罗正全; 刘业异 【主权项内容】 。1．本实用新型由电机驱动定标板对承件台上的工件调平，其特征在于 电机(1)带动偏心轮(3)转动，基座(12)中的弹簧(20)使顶钉(4) 与偏心轮(3)相靠，从而带动定位钉(5)和轴(7)沿轴承套(9)上下 移动，均布由若干个节流小孔的定标板(19)固定与轴(7)的端面；在半 球座(16)和与承件台(14)相连的半球(15)之间，进行压力空气和真 空切换，则承件台(14)可绕半球座球心旋转或被锁紧；上升气缸(17) 保证厚度不同的硅片都能被调平。 【当前权利人】中国科学院光电技术研究所 【当前专利权人地址】四川省成都市双流350信箱 【统一社会信用代码】12100000450811820A 【被引证次数】26.0 【被他引次数】26.0 【家族被引证次数】26.0

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