【摘要】 本发明涉及一种蠕动式压电/电致伸缩微进给定 位装置, 该装置由主轴、伸缩致动件、箝位夹紧机构、导向固定 件和预紧弹簧组成。伸缩致动件的两端与导向固定件相对固定, 预紧弹簧置于导向固定件之间, 导向固定件的一侧与伸缩致动 件相连, 另一侧与箝位夹紧机构的电磁磁路相对固定。本发明的 定位装置在保持高位移分辨率的同时实现高精度和平稳的大 行程进给定位, 并且结构紧凑、控制方便, 适用于微小型机械的 加工、装配与操作。 【专利类型】发明申请 【申请人】清华大学 【申请人类型】学校 【申请人地址】100084北京市海淀区清华园 【申请人地区】中国 【申请人城市】北京市 【申请人区县】海淀区 【申请号】CN98102837.3 【申请日】1998-07-10 【申请年份】1998 【公开公告号】CN1206865A 【公开公告日】1999-02-03 【公开公告年份】1999 【授权公告号】CN1119735C 【授权公告日】2003-08-27 【授权公告年份】2003.0 【IPC分类号】G05G5/06; G05G5/00 【发明人】李勇; 胡敏; 周兆英 【主权项内容】1、一种蠕动式压电/电致伸缩微进给定位装置，包括主轴、伸缩致动件，其特 征在于还包括箝位夹紧机构、导向固定件和预紧弹簧；所述的伸缩致动件的两端部 与导向固定件相对固定，导向固定件的内径面与主轴成滑动配合；预紧弹簧置于导 向固定件之间；所述的箝位夹紧机构由不动部分的电磁磁路和可动部分的力放大杆、 弧状杆、柔性铰链组成；导向固定件的一侧与伸缩致动件相连，另一侧与箝位夹紧 机构的电磁磁路相对固定，导向固定件的柔性悬臂套的外径面与箝位夹紧机构可动 部分的夹紧脚过盈配合。 【当前权利人】清华大学 【当前专利权人地址】北京市海淀区清华园 【专利权人类型】公立 【统一社会信用代码】12100000400000624D 【被引证次数】9.0 【被他引次数】9.0 【家族被引证次数】10.0

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