【摘要】本发明涉及一种用于液晶显示器寻址的金属- 绝缘体-金属有源薄膜开关器件的制法。采用五氧化二钽膜制 作金属-绝缘体-金属开关器件的绝缘层, 阳极氧化的五氧化 二钽膜在氢气气氛下进行退火处理。减少绝缘膜的阳极氧化Ta2O5膜表面的富氧层
【专利类型】外观设计 【申请人】上海灿坤实业有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】201804上海市曹安路4408号 【申请人地区】中国 【申请人城市】上海市 【申请人区县】嘉定区 【申请号】CN98332391.7 【申请日】1998-09-28 【申请年份】1998 【公开公告号】CN3114322D 【公开公告日】1999-06-23 【公开公告年份】1999 【授权公告号】CN3114322D 【授权公告日】1999-06-23 【授权公告年份】1999.0 【发明人】吴灿坤 【主权项内容】无 【当前权利人】上海灿坤实业有限公司 【当前专利权人地址】上海市曹安路4408号 【专利权人类型】外商投资企业 【统一社会信用代码】913100006072910350
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