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一种金属-绝缘体-金属开关器件的制法专利

时间:2026-05-26    作者:admin 点击: ( 0 ) 次

【摘要】 本发明涉及一种用于液晶显示器寻址的金属- 绝缘体-金属有源薄膜开关器件的制法。采用五氧化二钽膜制 作金属-绝缘体-金属开关器件的绝缘层, 阳极氧化的五氧化 二钽膜在氢气气氛下进行退火处理。减少绝缘膜的阳极氧化Ta2O5膜表面的富氧层的存在, 可以提高器件伏安特性的对称性。 【专利类型】发明申请 【申请人】中国科学院长春物理研究所 【申请人类型】科研单位 【申请人地址】130021吉林省长春市延安大路1号 【申请人地区】中国 【申请人城市】长春市 【申请人区县】朝阳区 【申请号】CN98106751.4 【申请日】1998-03-26 【申请年份】1998 【公开公告号】CN1230792A 【公开公告日】1999-10-06 【公开公告年份】1999 【IPC分类号】H01L49/02 【发明人】刘洪武; 黄锡珉; 马凯; 吴渊 【主权项内容】1.一种有源薄膜器件的制作方法,用五氧化二钽膜制作金属-绝缘体-金属开 关器件的绝缘层,其特征在于阳极氧化的五氧化二钽膜在氢气气氛下进行退火处 理。 【当前权利人】中国科学院长春物理研究所 【当前专利权人地址】吉林省长春市延安大路1号 【被引证次数】1.0 【被他引次数】1.0 【家族被引证次数】1.0

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