【摘要】一种带有分支和或承力盘的桩用的成形设备, 其 包括桩分支孔和或桩承力盘槽孔成形器(C), 该成形器包括压 头(7)和对称布置的成对的弓压式挤压成形机构(B、D), 该压头(7) 上作用有驱动器从而可使其产生移动, 上述桩分支孔和或桩
【摘要】 本发明涉及一种用于溅射镀膜的氧化铟/氧化锡 (ITO)靶材及其制造方法, 其特征在于 : 原料粉末中氧化铟和氧化 锡的质量比为9∶1, 平均粒径30～200nm, 纯度99.99%; 冷等静 压力为200～280MPa, 保压时间10分钟; 热等静压温度为 1100～1300℃, 保温时间0.5～6小时, 气氛压力为100～120MPa 采用专门设计的包套和容器; 制造出高密度、高纯度、大尺寸的 ITO靶材。该方法生产效率高、成本低。 【专利类型】发明申请 【申请人】中南工业大学 【申请人类型】学校 【申请人地址】410083湖南省长沙市左家垅 【申请人地区】中国 【申请人城市】长沙市 【申请人区县】岳麓区 【申请号】CN97108322.3 【申请日】1997-11-27 【申请年份】1997 【公开公告号】CN1218843A 【公开公告日】1999-06-09 【公开公告年份】1999 【授权公告号】CN1120899C 【授权公告日】2003-09-10 【授权公告年份】2003.0 【IPC分类号】C23C14/34; C23C14/08 【发明人】张树高; 黄伯云; 吴义成; 方勋华; 黄栋生; 陈明飞; 张波; 李世伟 【主权项内容】1．一种用于溅射镀膜的金属氧化物靶材，其特征在于：其原料 采用铟、锡金属氧化物复合粉末，该复合粉末中氧化铟和氧化锡的 质量比为9∶1，粉末呈球形或准球形，平均粒径为30～200nm，纯 度99.99％，无硬团聚；设计专用冷等静压包套和热等静压容器，采 用冷等静压——热等静压法制成柱状氧化铟/氧化锡靶材，并用线切 割方法切割成多片所需尺寸的产品。 【当前权利人】中南工业大学 【当前专利权人地址】湖南省长沙市左家垅 【被引证次数】27.0 【被他引次数】27.0 【家族引证次数】4.0 【家族被引证次数】27.0
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